晶圓制造解決方案之利器 — 中空伺服電機(jī)
中空伺服電機(jī)
半導(dǎo)體晶圓處理核心驅(qū)動解決方案
中空軸伺服電機(jī)在半導(dǎo)體設(shè)備中扮演著至關(guān)重要的角色，主要用于晶圓吸附旋轉(zhuǎn)技術(shù)，確保晶圓在清洗、涂膠、顯影、刻蝕等關(guān)鍵工藝中的精確控制和穩(wěn)定性。 采用不銹鋼中空轉(zhuǎn)動軸設(shè)計(jì)和特殊低發(fā)塵潤滑脂 17bit高分辨率編碼器支持，轉(zhuǎn)速可達(dá)5000 RPM 通過精確旋轉(zhuǎn)晶圓確保清洗液均勻覆蓋，提升清洗效率和質(zhì)量 精確控制膠液涂布量與均勻性，確保晶圓膠層厚度一致 旋轉(zhuǎn)晶圓使顯影液均勻作用，精確顯影電路圖案 旋轉(zhuǎn)控制確保刻蝕液均勻作用，實(shí)現(xiàn)微米級精度的刻蝕效果 簡化機(jī)械結(jié)構(gòu)，相比傳統(tǒng)皮帶輪裝置節(jié)省30%安裝空間 不銹鋼中空軸與特殊潤滑脂將粉塵發(fā)生量降低70%以上 17bit高分辨率編碼器支持最高5000 RPM旋轉(zhuǎn)精度 結(jié)構(gòu)簡化帶來的性能優(yōu)化 傳統(tǒng)結(jié)構(gòu) 中空結(jié)構(gòu)產(chǎn)品概述
核心技術(shù)
核心優(yōu)勢
應(yīng)用場景
晶圓清洗
涂膠工藝
顯影工藝
刻蝕工藝
方案優(yōu)勢
空間優(yōu)化
粉塵控制
高速高精度
傳統(tǒng)結(jié)構(gòu) VS 中空結(jié)構(gòu)
規(guī)格選型
項(xiàng)目 HZX80M-2430J92D4 HZX130M-2430J92D4 其他定制 額定輸出 750W 1500W 可定制 額定電壓 220V 220V 可定制 額定扭矩 2.4 N.M 6 N.M 可定制 峰值扭矩 7.2 N.M 18 N.M 可定制 額定轉(zhuǎn)速 3000RPM 2500RPM 可定制 最高轉(zhuǎn)速 5000RPM 3000RPM 可定制 編碼器 17bit單圈絕對值 17bit單圈絕對值 可定制 中空直徑 ?20mm ?30mm 可定制 
80伺服電機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖