FFU凈化臺

模塊化風(fēng)機(jī)過濾單元（Fan Filter Unit）系統(tǒng)，搭載H14級HEPA高效過濾器，單機(jī)凈化效率達(dá)99.995%@0.3μm。采用直流無刷電機(jī)驅(qū)動，噪音值≤55dB，支持多臺聯(lián)機(jī)構(gòu)建潔凈室環(huán)境。智能壓差監(jiān)測系統(tǒng)可實(shí)時顯示濾網(wǎng)壽命，適用于半導(dǎo)體制造、PCR實(shí)驗(yàn)室等對空氣潔凈度要求嚴(yán)格的場景。

可搭配：單片晶圓甩干機(jī)，單片晶圓清洗臺，單片晶圓刻蝕機(jī)等。